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三轴 MEMS 陀螺仪测量载体的角速率,三轴 MEMS 加速度计测量载体的线加速度,产 品内部进行了全温度参数的零位、标度因数、非正交误差和与加速度有关项的补偿, 可以长时间保持较高的测量精度,其独立结构内集成了高性能的MEMS陀螺仪以及MEMS 加速度计,选用的陀螺仪和加速度计均代表 MEMS 工艺惯性器件的领先水平。
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